发光二极管（LED）无尘车间
9 采暖、通风、空气净化
9.1 一般规定
9.1.1 洁净室的空气洁净度等级以及洁净室型式应根据生产工艺对生产环境的要求确定。 9.1.2洁净室的气流组织应根据洁净度等级、生产工艺要求以及技术经济比较确定。
9.1.3 当出现下列情况时，空气净化调节系统宜分开设置：江西发光二极管（LED）无尘净化车间
1 生产工艺中散发的物质对其他工序的产品质量及人员安全卫生有影响；
2 温湿度基数和允许波动范围差别大洁净室；
3 净化空调系统和一般空调系统；江西发光二极管（LED）无尘净化车间
4 洁净室内工艺设备发热、散湿量相差悬殊的洁净室；
5 系统风量过大的净化空调系统。江西发光二极管（LED）无尘净化车间
9.1.4 洁净室内的新风量应取下列二项中的***大值：
1 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新风量之和；
2 保证供给洁净室内每人每小时的新风量不小于40m3。
9.1.5 洁净室与周围的空间应保持一定的静压差，静压差应符合下列规定：
1 不同等级的洁净室之间的静压差不宜小于5Pa；
2 洁净室与非洁净室之间的静压差，不应小于5Pa；
3 洁净室与室外的静压差应大于10Pa。江西发光二极管（LED）无尘净化车间
9.3 空气调节与净化
9.3.1 净化空气调节系统的新风应集中进行热、湿、净化处理，新风处理机组的设置应符合下列要求：
1 送风机应采取变频措施；
2 空气宜经过粗效、中效、高效过滤器三级处理；
3 新风的吸入口位置，应远离排放有害物或可燃物的排气口；
4 应有良好的气密性，在工作压力下的漏风率不得大于1%。
9.3.2光刻间宜采用新风处理机组+风机过滤器机组+干冷却盘管的净化空调系统；其他洁净室宜采用新风处理机组+循环空气处理机组+高效过滤器送风口的净化空调系统。
9.3.3 循环空气处理机组宜采用干冷却方式处理空气。江西发光二极管（LED）无尘净化车间
9.3.4 循环空气处理机组的风机应采取变频调速措施。
9.3.5空调加热、加湿系统的设计应利于工厂余热的利用。
9.3.6 洁净室的送风量，应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB50073的有关规定。 9.3.7洁净室的噪声控制设计的噪声级（空态）应符合现行国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472的有关规定，但当洁净室采用新风处理机组+风机过滤器机组+干冷却盘管的净化空调系统时，单向流和混合流洁净室的噪声级（空态）不应大于70dB（A），非单向流洁净室的噪声级（空态）不应大于65dB（A）。
9.4 防排烟
9.4.1 厂房中防烟楼梯间、前室或合用前室宜设置自然排烟设施，当不能满足自然排烟要求时，应设置机械防烟系统。机械防烟系统的设置应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016的有关规定。江西发光二极管（LED）无尘净化车间
9.4.2 厂房中不具备自然排烟的疏散走廊，应设置机械排烟系统。
9.4.3金属有机化合物化学气相沉积设备车间内应设置机械排烟系统，其他车间排烟系统的设置应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》GB50016和《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472的有关规定。江西发光二极管（LED）无尘净化车间
.4.4 洁净室（区）的排烟系统应有防止室外气流倒灌的措施，并应设置旁通管路用于平时巡检。江西发光二极管（LED）无尘净化车间
9.4.5洁净室（区）内的排烟管道的隔热材料不应直接采用产尘的保温材料。
江西深蓝净化工程有限公司 张经理 QQ---
