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5.2.5 生产太阳能级多晶硅的还原炉室宜考虑洁净新风，至少三级过滤；生产半导体级多晶硅的还原炉室洁净度应在8级以上。多晶硅无尘车间
8.4 洁净设计及装修
8.4.1 主厂房设计应符合下列规定：
1 半导体级多晶硅还原厂房的还原炉室应采按洁净厂房设计，空气洁净度等级不应低于8级。平面布置、人员净化、物流净化、室内装修应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB50073的相关要求。当设有通往整理车间连廊时，其空气洁净度等级和处理方法同还原炉室。江西多晶硅无尘净化车间
2 还原工段地面宜采用耐磨的洁净地面，当采用水磨石地面时应有防静电措施。墙面宜采用外贴洁净板或防静电树脂涂料，以满足洁净及防腐蚀的要求。
3 整理车间空气洁净度等级及洁净区划分应按工艺要求设置，空气洁净度不应低于8级。平面布置、人员净化、物流净化、室内装修应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB50073的相关规定。江西多晶硅无尘净化车间
4 整理车间的洁净房间地面宜采用环氧自流平地面、PVC或水磨石地面，地面应有防静电措施。江西多晶硅无尘净化车间
8.4.2 其他建（构）筑物的地面及装修应符合下列规定：
1 厂房的地面与室外自然地坪高差宜≥300mm。
2 有洁净要求的房间地面应满足工艺生产要求，地面应平整、耐磨、易清洗、不易积聚静电、避免眩光、不开裂，踢脚不应突出墙面。地面垫层宜配筋，潮湿地区应有防潮措施。
3 洁净房间的门窗、墙面、顶棚装修应符合现行国家标准《洁净厂房设计规范》GB50073第5.3节的规定。江西多晶硅无尘净化车间
4 普通区辅助房间的地面应根据使用性质和要求选用，室内装修应符合国家现行标准《建筑内部装修设计防火规范》GB50222的规定。
10 采暖、通风与空气调节
10.1 一般规定
10.1.1 采暖、通风、空调与空气净化系统的设计应满足生产工艺对生产环境的要求；主要建筑物空气洁净度、温度、湿度、通风换气次数要求见本规范附录3。
10.1.2 8级以上洁净室（区）不应采用散热器采暖；其他厂房或房间的采暖系统设置应符合国家现行标准《采暖通风与空气调节设计规范》GB50019的规定。
10.1.3 严寒地区还原车间的管道夹层采用热风采暖，不应回风。
10.3 空气调节与净化
10.3.1 厂房的空气洁净度等级、温度、湿度要求应满足生产工艺的要求。
10.3.2 在下列情况之一的空调区内，空调系统应分开设置：
1 净化空调系统与一般空调系统。
2 空气中含有易燃易爆物质。江西多晶硅无尘净化车间
3 容易产生交叉污染，对其他工序的产品质量造成影响。
4 对温、湿度控制要求差别大。
5 工艺设备散热量相差悬殊。江西多晶硅无尘净化车间
10.3.3 保证空气洁净度等级的洁净室送风量宜符合表10.3.3规定
表10.3.3 洁净室送风量（静态）和气流流型
注：1换气次数适用于层高小于4.0m的洁净室；空气洁净度等级 气流流型 平均风速 换气次数 (m/s) （h-1） 1～5 单向流或混合流 0.20～0.45 — 6 非单向流 — 50～60 7 非单向流 — 15～25 8～9 非单向流 — 10～15 三级过滤 — — —
2室内人员少、热源少时，宜采用下限值。
10.3.4 空调系统新风量应取下列两项中的***大值：
1 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新风量之和。
2 保证供给室内每人每小时的新风量，洁净区不小于40m3，非洁净区不小于30m3。
10.3.5 洁净室的送风方式可分为集中送风、风机过滤机组送风等。
10.3.6 洁净室与周围环境应维持一定的压差，并应符合下列规定：
1.不同等级的洁净区之间的压差应不小于5Pa。
2.洁净区与非洁净区之间的压差应不小于5Pa。
3.洁净区与室外的压差应不小于10Pa。江西多晶硅无尘净化车间
10.3.7 洁净空调送风、回风和排风系统的启闭应连锁。正压洁净室两所程序为先启动送风机，在启动回风机和排风机；关闭时连锁程序应相反。
10.3.8 单向流和混合流洁净室的噪声级（空态）不应大于65dB(A)，非单向流洁净室的噪声级（空态）不应大于60dB(A)。
10.3.9 还原车间应独立设置直流空调送风系统，不应回风。
10.3.10 当腐蚀清洗室、硅棒破碎室、配件清洗室的局部排风不能安全排出酸性腐蚀性气体、粉尘等时，其设空调送风系统不应回风。
10.3.11 洁净空气调节系统的新风集中进行处理时，其新风处理机组应符合下列要求：
1 新风应经过粗效过滤器处理。江西多晶硅无尘净化车间
2 严寒地区新风应先预热。
3 送风机宜采取变频措施。
10.3.12 空气过滤器的选用、布置应符合下列要求：
1 空气净化处理应根据空气洁净度等级合理选用过滤器。
2 空气过滤器处理风量应不大于额定风量。
3 中效（高中效）空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段。
4 亚高效和高效过滤器宜设置在净化空调系统的末端。
10.3.13 风机过滤器机组的设置应符合下列要求：
1 应根据空气洁净度等级和送风量选用。
2 送风量应能调节。江西多晶硅无尘净化车间
3 应便于安装、维修及过滤器更换。
10.3.14 净化空调系统的送风机宜采用变频装置。
江西深蓝净化工程有限公司 张经理 QQ---
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